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SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

簡要描述:

SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150
KMV-70ST100
KMV-70ST100
本産品是通過超高真空中(zhōng)的冷凍機、高真空中(zhōng)的冷凍機等的移動及測定等實驗,設計成能夠正确且再現性地操作大(dà)氣中(zhōng)的上下(xià)移動或X.Y的平行移動,并進行精密的制作、組裝,以達到功能的優秀和精度本公司的産品廣泛應用于各方面。

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SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

 

多軸機械臂VM-150

介紹:

本産品是通過超高真空中(zhōng)的冷凍機、高真空中(zhōng)的冷凍機等的移動及測定等實驗,設計成能夠正确且再現性地操作大(dà)氣中(zhōng)的上下(xià)移動或X.Y的平行移動,并進行精密的制作、組裝,以達到功能的優秀和精度本公司的産品廣泛應用于各方面。

規格

XY平行移動:移動±10mm

移動密度10μ以下(xià)

Z方向移動:移動130mm

移動密度50μ以下(xià)

安裝法蘭:上部・・ICF70FT

下(xià)部…ICF152 FH

焊接貝羅:外(wài)徑60mm内徑40mm

容許洩漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下(xià)

 

簡易型機械臂KMV-70 ST100

本産品通過超高真空中(zhōng)樣品等的移動及測定等實驗設計,可在大(dà)氣中(zhōng)進行上下(xià)移動或X.Y的平行移動,本産品廣泛應用于各方面。

規格

X.Y平行移動:移動±5mm

Z軸移動量:100m/m

安裝法蘭:上部法蘭ICF70FT

下(xià)部法蘭ICF70FH

焊接貝羅:使用内徑40mm

容許洩漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下(xià)

 

冷凍機用機械臂CLM-70/70

本産品是通過超高真空中(zhōng)的冷凍機、高真空中(zhōng)的冷凍機等的移動及測定等實驗,設計成能夠正确且再現性地操作大(dà)氣中(zhōng)的上下(xià)移動或X.Y的平行移動,并進行精密的制作、組裝,以達到功能的優秀和精度本公司的産品廣泛應用于各方面。也制作XY軸、Z軸的馬達驅動。

規格

X.Y平行移動:移動±6.5mm(手動)、移動精度10μm以下(xià)

Z方向移動:100200m/m(手動)、移動精度50μm以下(xià)

安裝法蘭:基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅:外(wài)徑φ60mm内徑φ使用40mm

容許洩漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下(xià)

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