MEGATORR公司蝶泳閥門MR30ITV000SN銷售 閘閥

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非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應，通過與AP系列控制器/電(diàn)容計并用，可以在半導體(tǐ)等工(gōng)藝中(zhōng)獲得高速響應、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中(zhōng)，随着過程的多樣化，壓力控制範圍也呈現出多樣化的趨勢，特别是在低真空（高壓）下(xià)壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一(yī)樣，随着過程氣體(tǐ)的多樣化，變得更需要溫度。爲了滿足您的要求而開(kāi)發的是這個寬帶閥門。

寬壓力控制範圍：101.33kPa（大(dà)氣壓）～10Pa以下(xià)（760Torr～70mTorr以下(xià)）可以控制，還能加熱到200℃。

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