MEGATORR真空計用電(diàn)源顯示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空計用電(diàn)源顯示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空計用電(diàn)源顯示器MS-1S,MS-2S

焊接金屬

焊接膠體(tǐ)作爲一(yī)般真空設備、半導體(tǐ)制造裝置中(zhōng)可動部分(fēn)的真空保持和裝置的排氣管道而被大(dà)量使用。特别是爲了保持裝置可動部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質金屬的焊接金屬。本公司的焊接金屬在ISO 9001認證工(gōng)廠進行管理、制造、檢查，提供令人放(fàng)心的高品質焊接金屬。

石英制品

在半導體(tǐ)工(gōng)程中(zhōng)使用的石英産品，特别要求品質嚴格。本公司經營的Wonk Quartz公司生(shēng)産的石英制品是ISO 9002認證工(gōng)廠生(shēng)産的高質量、高精度的産品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離(lí)過程中(zhōng)産生(shēng)的反應産物(wù)和粉塵在Chamber内和排氣系統中(zhōng)累積過程中(zhōng)如果泵緊急停止的話(huà)，會引起Chamber内粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber内産品污染。通過使用Chamber防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統，防止粉塵逆流，保護産品不受污染。

真空計用電(diàn)源顯示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生(shēng)産的電(diàn)容表配備了SetPoint繼電(diàn)器的顯示器和電(diàn)源供應單元。可以連接一(yī)台或兩台電(diàn)容表。内置2個或4個獨立動作的定點繼電(diàn)器。連接帶有溫度支架輸出的電(diàn)容表時，可以顯示溫度支架。