CC2000S氣缸櫃TOYOKOKAGAKU東橫化學
氣缸櫃CC2000S,SEMI,BSGS;氣體(tǐ)箱VMB,VMP
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氣缸櫃CC2000S,SEMI,BSGS;氣體(tǐ)箱VMB,VMP
氣缸櫃CC2000S的4大(dà)基本原則
保持高純度氣體(tǐ)質量:爲了應對以半導體(tǐ)制造工(gōng)廠爲代表的高純度品質的需求,我(wǒ)(wǒ)們通過嚴選零部件和配管等材料,實現了高品質氣體(tǐ)的供應。
以安全爲設計理念:針對有毒、易爆等高危氣體(tǐ)的安全供應,我(wǒ)(wǒ)們根據每種氣體(tǐ)的物(wù)理特性進行設計。
設計時考慮到穩定的供應:針對24小(xiǎo)時365天不間斷供應系統的需求,我(wǒ)(wǒ)們根據應對各種可能出現的問題的豐富經驗,設計出穩定的供應。
減少環境負荷:我(wǒ)(wǒ)們正在實施不僅在日本而且在海外(wài)都受到重視的節能和低環境負荷措施。
氣體(tǐ)面闆/氣體(tǐ)箱 (VMB/VMP)特征:
根據您的要求設計系統。
獨立控制系統包括控制系統。
遵守法律法規,應對各種應用。
小(xiǎo)尺寸到大(dà)尺寸可選。
氦氣(He)回收設備特征:
可進行高精度濃度控制,回收的氦(He)混合氣體(tǐ)可調整至規定的氦(He)濃度并穩定供給。
不受排氣條件影響的系統,該系統可以應對連續排氣和間歇排氣,可以構建與客戶生(shēng)産系統相匹配的回收系統。
對應各種廢氣成分(fēn):可去(qù)除油分(fēn)、水分(fēn)、金屬、生(shēng)成氣體(tǐ)等雜(zá)質,提高純度。我(wǒ)(wǒ)們将在分(fēn)析廢氣後設計系統。
通過選擇最合适的設備來壓縮和精煉長壽命氦 (He) 氣,該系統限度地降低了消耗成本。
現場供應,我(wǒ)(wǒ)們還可以處理管理回收設備并供應濃度調整後氣體(tǐ)的商(shāng)業模式。
回收率爲90%以上,系統的設計限度地減少了廢氣,從而實現了高産率。也可以追加對工(gōng)件内部的氦(He)混合氣體(tǐ)進行排氣的功能。
按減排設備用途分(fēn)類:
1.生(shēng)産設備減排設備: 生(shēng)産設備廢氣處理。
2.C/C VENT減排設備: 鋼瓶更換過程中(zhōng)的殘餘氣體(tǐ)處理。
3.應急減排設備: 供應設備漏氣時應急。
氣體(tǐ)檢測儀是一(yī)種監測可燃氣體(tǐ)和有毒氣體(tǐ)洩漏的設備。從氣體(tǐ)制造商(shāng)的角度,我(wǒ)(wǒ)們将考慮安裝工(gōng)作、I/L 提案等,例如防止洩漏的安全措施。