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正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電(diàn)鏡 電(diàn)子顯微鏡

簡要描述：

正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電(diàn)鏡
采用電(diàn)子束在Flashing後出現的高亮度穩定區域作爲穩定觀察的區間，使得低加速電(diàn)壓條件下(xià)兼備高分(fēn)辨觀察和分(fēn)析的性能

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正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電(diàn)鏡

正品原廠hitachi日立高分(fēn)辨場發射掃描電(diàn)鏡

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發射電(diàn)子槍*2
  • 采用電(diàn)子束在Flashing後出現的高亮度穩定區域作爲穩定觀察的區間，使得低加速電(diàn)壓條件下(xià)兼備高分(fēn)辨觀察和分(fēn)析的性能
  • 與現有機型相比分(fēn)辨率提高了20％左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小(xiǎo)、高真空樣品倉
項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電(diàn)子分(fēn)辨率0.8 nm
（加速電(diàn)壓15 kV）
1.1 nm
（着陸電(diàn)壓1 kV）*3		0.7 nm（加速電(diàn)壓 15 kV）
0.9 nm（着陸電(diàn)壓 1 kV）*3
着陸電(diàn)壓0.1～2 kV0.01～20 kV
放(fàng)大(dà)倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4
樣品台樣品台控制3軸馬達台（可選5軸馬達台）5軸馬達驅動
移動範圍X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
R360°
T-5～70°
Z1.5～30 mm1.5～40 mm
再現性---±0.5 µm以下(xià)含±0.5 µm

 

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