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正規代理hitachi日立聚焦離(lí)子束系統顯微鏡/望遠鏡

簡要描述：

正規代理hitachi日立聚焦離(lí)子束系統
新型電(diàn)子光學系統，可達到世界高水準的SIM像分(fēn)辨率・大(dà)束流使加工(gōng)速度得以提升・提高了低加速電(diàn)壓的分(fēn)辨率，使得高品質TEM樣品制備成爲可能

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正規代理hitachi日立聚焦離(lí)子束系統

MI4050是具有以下(xià)特征的高性能聚焦離(lí)子束系統：新型電(diàn)子光學系統，可達到世界高水準的SIM像分(fēn)辨率・大(dà)束流使加工(gōng)速度得以提升・提高了低加速電(diàn)壓的分(fēn)辨率，使得高品質TEM樣品制備成爲可能
可用于截面加工(gōng)觀察，高品質TEM樣品制備，電(diàn)路修複，Vector Scan加工(gōng)，微納米級微細圖形及磨具加工(gōng)，利用沉積功能制作3維構造等衆多樣品加工(gōng)應用。

通過提高極低加速電(diàn)壓（0.5kV～）加工(gōng)及低加速電(diàn)壓二次電(diàn)子圖像分(fēn)辨率，實現制備損傷率更低的TEM樣品

優越的操作性能和多種多樣的加工(gōng)模式

截面制備程序加工(gōng)
TEM/STEM樣品程序加工(gōng)
自動連續加工(gōng)
TEM樣品自動連續精加工(gōng)軟件
位圖加工(gōng)
Vector Scan加工(gōng)
制備納米精度三維結構樣品其他

項目	内容
樣品尺寸	50mm×50mm×12mm（t）以下(xià)
樣品台	5軸電(diàn)動機械優中(zhōng)心馬達台
加速電(diàn)壓	1～30kV　（0.5kV～　選配）（0.5～1.0kV ：步長0.1kV）（1.0～2.0kV ：步長0.2kV）
二次電(diàn)子分(fēn)辨率	4nm＠30kV
大(dà)探針電(diàn)流	90nA
大(dà)探針電(diàn)流密度	50A/cm2